Описание проекта
Объектом исследования являются слои углеродных нанотрубок, выступающие в качестве чувствительного элемента газового датчика
Цель работы – разработка газового датчика с чувствительным элементом на основе углеродных нанотрубок на гибкой подложке-носителе для устройств сенсорики.
В процессе работы было проведено исследование различных дизайнов чувствительного элемента на основе УНТ (геометрия, толщина слоя), разработана технология трансфера чувствительных слоев углеродных нанотрубок на поверхность гибкого носителя, разработана технология формирования слоя углеродных нанотрубок заданной геометрии методами фотолитографии и травления, отработана технология электрических контактов к слою углеродных нанотрубок методом вакуумного термического испарения.
В результате проделанной работы было показано, что формирование текстурированного рисунка на поверхности углеродных нанотрубок позволяет повысить механические свойства слоя, при этом сохранить электрофизические характеристики, такие как проводимость.
В рамках работы была успешно реализована технология трансфера УНТ на поверхность гибкого носителя, в качестве которого был использован ПДМС, с использованием жертвенного слоя PMGI и lift-off метода.
Успешно разработана технология формирования слоя УНТ заданной геометрии методами фотолитографии и плазмохимического травления, а также формирования электрических контактов к слою УНТ методом вакуумного термического испарения. Такой подход является универсальным и может быть применен для коммерческого производства.
