Описание проекта
Цель проекта: Разработка компактного тиристорного генератора высоковольтных импульсов напряжения с частотой следования импульсов до 1 кГц для плазменных реакторов прецизионных технологий атомно-слоевого травления материалов электронной техники
Задачи проекта:
- Разработка цифровой модели конструкции компактного тиристорного генератора высоковольтных частотно-периодических импульсов напряжения;
- Разработка лабораторного макета компактного тиристорного генератора высоковольтных частотно-периодических импульсов напряжения для широкоапертурного источника низкоэнергетичных потоков ионов для технологии АСТ
- Проведение испытаний компактного тиристорного генератора высоковольтных частотно-периодических импульсов напряжения
Ожидаемый результат:
Компактный тиристорный генератор высоковольтных частотно-периодических импульсов напряжения для плазменного реактора АСТ
