Описание проекта
В последнее время за рубежом отмечается повышенный интерес к теллуру, как к полупроводниковому материалу, перспективному для использования в качестве активного элемента газовых датчиков (природный газ, аммиак, сероводород и др.). Усилия технологов направлены на получение одномерных структур (вискеров) теллура для их использования в качестве активного элемента датчика, поскольку в этом случае ожидается существенное повышение ключевых параметров сенсора по сравнению с тонкопленочными аналогами. Для синтеза таких структур предложены в основном методы «мокрой» химии, которые имеют ряд существенных недостатков.
Нами предложен (получен патент) и развивается метод получения кристаллов, тонких пленок, микро- и наноструктур теллура из газовой фазы, ключевой особенностью которого является использование водорода для термохимической активации процессов кристаллизации. Технология позволяет сохранить высокую чистоту исходных материалов, а хорошая управляемость процесса кристаллизации в равновесных условиях дает возможность синтеза микрокристаллов теллура с необходимыми геометрическими размерами. В частности, получены полые нитевидные кристаллы (микротрубки) теллура длиной – до 1 см, диаметром – 100 мкм, толщиной стенки – 1-10 мкм, которые рассматриваются идеальным вариантом активного элемента для изготовления высококачественных датчиков газа.
Цель проекта: разработать газовый сенсор на основе нитевидных кристаллов теллура (полых и сплошных), получаемых методом термохимической активации для детектирования газов.
Задачи проекта:
- Оптимизировать технологию получения полых и сплошных нитевидных кристаллов теллура.
- Изготовить лабораторный образец газового сенсора на основе нитевидного кристалла теллура.
- Исследовать основные эксплуатационные характеристики сенсора.