Описание проекта
Разработка программы-тренажера, позволяющей сформировать компетенции и навыки использования высоковакуумных криогенных насосов при эксплуатации современных технологических установок, предназначенных для процессов осаждения тонкопленочных покрытий и процессов прецизионного травления микроструктур в производстве изделий микро и наноэлектроники.
Презентации
Пульс
реализовано
Инициация идеи и проекта
Разработаны подходы к описанию процессов, происходящих в насосе, позволяющие смоделировать изменение давления в результате его функционирования. Получены первые кривые откачки, не противоречащие опыту работы с реальным оборудованием.
