Описание проекта
SMIF-загрузчики полупроводниковых пластин — это высокотехнологичное оборудование для автоматизированной загрузки и выгрузки полупроводниковых пластин в чистых помещениях. Устройства обеспечивают надежную защиту от загрязнений и повреждений материалов, что позволяет сохранить их высокое качество на всех этапах обработки.
Задачей проекта является создание высокоточного захватного устройства для автоматизированной транспортировки герметичных контейнеров с кремниевыми пластинами в условиях чистых комнат полупроводникового производства.
Актуальность темы подтверждается информацией из источника (https://www.cnews.ru/news/top/...): Минпромторг заказал создание установки для отмывки и сушки SMIF-контейнеров для кремниевых пластин. На эти работы выделено 476,8 млн руб.
Пользователями таких установок, являются, прежде всего, «Микрон», «Исток им. Шокина», НИИС им. Седакова, НЗПП «Восток».
